فوتولیتوگرافی

در هر دو این موارد یک لایه حساس به نور به نام photoresist به صورت کاملا یکنواخت بر روی لایه مورد نظر قرار داده می شود. سپس الگوی مورد نظر بالای نمونه قرار می گیرد. یک منبع نور که معمولا دارای طول موجی بین 300 تا 400 نانومتر می باشد به نمونه نورپردازی می نماید. در واقع الگو که بین نمونه و چشمه نور قرار دارد به صورت یک ماسک در مقابل نور فرابنفش رفتار می کند و به برخی از نقاط نمونه هیچ نوری تابیده نمی شود و سایر نقاط نمونه نورپردازی می گردد. سپس نمونه مورد نظر به مدت زمان مشخصی در یک حلال قرار داده می شود. قسمت هایی از فوتورزیست که نوردهی شده اند از بین می رود و باقی قسمت ها کاملا به صورت سالم باقی می ماند.